표면처리기술사 82회 3교시 5번

시험일: 2009-07-14

R.F 스팟터링법에 의한 증착과정 중에 비금속 타겟이 양이온들에 의해 이온 스팟 터링 될 수 있는 이유를 설명하시오.

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