표면처리기술사 82회 4교시 1번
시험일: 2009-07-14
박막공정기술이 산업계에 많이 활용됨에 따라 이에 대한 표면분석기술의 활용도가 높아지고 있는 상황이다. 또한 표면처리 분야의 활용도를 극대화하고 산업체의 현장 문제를 해결하고자 한다면 표면분석기술의 종류 및 활용방안은 기본적으로 알고 있어야 된다고 판단된다. 박막의 표면분석을 위한 분석장비 중 표면의 화학적 조성 및 결합 상태를 분석하는 Auger 전자분광법(AES) , X-선전자분광법(XPS)에 대해 간략히 설명하시오.