박막 공정 기술이 산업계에 많이 활용됨에 따라 이에 대한 표면 분석 기술의 활용도가 중요해 지고 있다. 박막의 표면 분석을 위한 분석 장비중 표면의 화학적 조성 및 결합 상태를 분석하는 Auger 전자 분광법(AES), X-선 전자 분광법(XPS)의 원리 및 구조에 대해 설명하시오.
댓글을 작성하려면 로그인이 필요합니다.
아직 댓글이 없습니다. 첫 번째 댓글을 작성해보세요!